Le service met à disposition des utilisateurs deux microscopes à balayage de JEOL.
JEOL 7500-F
SOURCE
- Canon à émission de champ
Resolution
- 1.0 nm à 15kV
- 1.4 nm à 1kV (mode Gentle beam)
- 2.0 nm à 1kV (mode SEM)
Grossissement
- x 25 à x 1.000.000
Modes d'imagerie
- image d'électrons secondaires (2 détecteurs SEI ou LEI)
- image d'électrons rétro-diffusés (LABE)
- image en transmission d’électrons (TED)
Potentiel d'accélération
- mode SEM : 0.5 à 30 kV (par pas de 10V de 0.5 à 2.9kV et par pas de 100V de 2.9 à 30kV)
- mode GB : de 0.1 à 4 kV (par pas de 100V)
Microanalyseur X à sélection d'energie JED-2300F
- Détecteur: Ultra Nine30
- Taille:30 mm2
- Refroidissement par azote liquide (Dewar 9,5l)
- Résolution meilleure que138eV (FWHM) sur la raie Kα du Manganèse
- Détection à partir du Bore jusqu'à l'Uranium
JEOL 6010LV
SOURCE
- Filament W
Resolution
High vacuum mode
- 4.0 nm à 20 kV
- 8.0 nm à 3 kV
- 15.0 nm à 1 kV
Low vacuum mode
- 5.0 nm à 20 kV
GROSSISSEMENT
- x 8 à x 300.000
MODES D'IMAGERIE
- image d'électrons secondaires (SEI)
- image d'électrons rétro-diffusés (BEI)