La technique ToF-SIMS (spectroscopie de masse par ions secondaires à temps de vol) permet de déterminer la composition élémentaire et moléculaire de la surface d’un échantillon. Elle est très utile également pour réaliser des cartographies 2D (du µm2 au cm2) et des profils en profondeurs (grâce à un canon de décapage).

Les atouts sont :

• Haute résolution en masse
• Haute résolution latérale et en profondeur (200nm et 1nm)
• Haute sensibilité (ppm)
• Détection parallèle de tous les ions
• Identification élémentaire, isotopique et moléculaire
• 3 modes d’analyse : spectrométrie, imagerie, profilage en profondeur