En addition aux modes d'imagerie en électrons secondaires, électrons rétro-diffusés et imagerie en transmission, notre Microscope électronique à Balayage (MEB) est équipé d'une sonde d'analyse de rayons X.

Lorsque la surface d'un échantillon est 'illuminée' par un faisceau d'électrons, plusieurs signaux sont générés tels que : électrons secondaires, électrons rétro-diffusés, électrons Auger, ainsi qu'un rayonnement X.

Ces rayonnements X sont détectés par un semi-conducteur Si(Li). Le signal est alors amplifié et identifié par un analyseur multiple-canaux,  permettant ainsi l'obtention d'un spectre de rayons X. Les éléments présents dans l'échantillon sont identifiés via leur pic énergétique et l'analyse  quantitative via le nombre de pics.

Cette méthode d'analyse est appelée spectrométrie à dispersion d'énergie.

caractéristiques détecteur

type de détecteur : Si - Li

aire de détection : 10 mm²

résolution en énergie (FWHM) 138 eV

éléments détectables : B ~> U

exemple d'analyse : roche

image en électron rétro-diffusés

spectre EDX                                                                                           mapping EDX