analyse par rayons X
En addition aux modes d'imagerie en électrons secondaires, électrons rétro-diffusés et imagerie en transmission, notre Microscope électronique à Balayage (MEB) est équipé d'une sonde d'analyse de rayons X.
Lorsque la surface d'un échantillon est 'illuminée' par un faisceau d'électrons, plusieurs signaux sont générés tels que : électrons secondaires, électrons rétro-diffusés, électrons Auger, ainsi qu'un rayonnement X.
Ces rayonnements X sont détectés par un semi-conducteur Si(Li). Le signal est alors amplifié et identifié par un analyseur multiple-canaux, permettant ainsi l'obtention d'un spectre de rayons X. Les éléments présents dans l'échantillon sont identifiés via leur pic énergétique et l'analyse quantitative via le nombre de pics.
Cette méthode d'analyse est appelée spectrométrie à dispersion d'énergie.
caractéristiques détecteur
type de détecteur : Si - Li
aire de détection : 10 mm²
résolution en énergie (FWHM) 138 eV
éléments détectables : B ~> U
exemple d'analyse : roche
image en électron rétro-diffusés
spectre EDX mapping EDX
